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一、產品特點及用途
反應燒結碳化硅懸臂槳,是半導體晶圓裝載系統的關鍵部件。 懸臂槳性能穩定,在高溫環境不變形,晶圓裝載量大,適用于機器人自動裝載和搬運系統。由于懸臂槳截面穩定不變形,使得利用現有的爐管制備更大規格晶圓成為可能。懸臂槳與LPCVD涂層的熱膨脹系數相近,應用于LPCVD,極大地延長了維護清洗周期,并大幅減少污染物。
二、理化指標